高低溫真空探針臺

技術參數；
真空腔體
類型
高溫型室溫到400℃
高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃
腔體材質
6061鋁合金 （304不銹鋼可選）
腔體內尺寸
127mmx57mmx20mm
腔體外尺寸
150mmx80mmx32mm
腔體重量
不銹鋼材質 約1.5kg 鋁合金材質 約0.5kg
腔體上視窗尺寸
φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口
kf16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體真空測量口
kf16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體進氣口
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體冷卻方式
腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
6mm快擰 或 6mm快插
腔體正壓
≤0.05mpa
腔體真空度
機械泵≤5pa（5分鐘） 分子泵≤5e-3pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質
不銹鋼
樣品臺尺寸
26x26mm
樣品臺加熱方式
電阻加熱
電阻加熱 液氮制冷
樣品臺-視窗 距離
11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器
pt100型熱電阻
樣品臺溫度
室溫到400℃
室溫到400℃ 室溫到-190℃
樣品臺測溫誤差
±0.5℃
樣品臺升溫速率
高溫100℃/min 值 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示
7寸人機界面
溫控類型
標準pid溫控 +自整定
溫度分辨率
0.1℃
溫控精度
±0.5℃
溫度信號輸入類型
pt100 （可選k s b型熱電偶）
溫控輸出
直流線性電源加熱
直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能
溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口
溫控器尺寸
32cmx170cmx380cm
溫控器重量
約5.6kg
可擴展電學測試
探針
電信號接頭
配線轉接 bnc接頭 bnc三同軸接頭 sma 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學性能
絕緣電阻 ≥4000mω 介質耐壓 ≤200v 電流噪聲 ≤10pa
探針數量
4探針（可擴展5探針）
探針材質
鍍金鎢針 （其他材質可選）
探針尖
10μm
手動探針移動平臺
x軸移動行程
20mm±10mm（需手動推動滑臺）
x軸控制精度
≥500μm
r軸移動行程
120°±60°（需手動旋轉探針桿）
r軸控制精度
≥500μm
z軸移動行程
2mm±1mm
z軸控制精度
≤50μm（需手動螺紋調節探針桿）