DLC類金剛石鍍膜機

dlc俗稱類金剛石，是英文“diamond-like carbon”一詞的縮寫。dlc是一種由碳元素構成、在性質上和鉆石類似，同時又具有石墨原子組成結構的物質。類金剛石薄膜（dlc）是一種非晶態薄膜，由于具有高硬度和高彈性模量，低摩擦因數，耐磨損以及良好的真空摩擦學特性，很適合于作為耐磨涂層，從而引起了摩擦學界的重視。目前制備dlc薄膜的方法很多，有熱沉積、磁控、氣象沉積、電弧沉積、離子源沉積等， 不同的制備方法所用的碳源以及到達基體表面的離子能量不同， 沉積的dlc 膜的結構和性能存在很大差別， 摩擦學性能也不相同。
該設備采用pvd+cvd工藝模式，可以沉積厚度在3微米以內的純正dlc膜層，設備可配備離子源，進一步提高結合力。
一、設備配置：
1、粗抽泵+分子泵
2、質量流量計:4路
3、真空計：薄膜規1個，全量程真空計1個
4、電源：直流電源等3套
5、離子源：1套
二、dlc膜層性能
1、硬度在hv2000-2500之間
2、低摩擦系數：0.1左右
3、高絕緣性能：電阻測量在10m歐以上
三、類金剛石膜(dlc)的應用
1、dlc膜可廣泛應用于各類工具、模具和刀具，如鉆頭、銑刀、光盤模具、沖模、塑料成型模、玻璃成型模和鎂合金加工模具等。
2、滑動部件，如軸承、齒輪等。
3、汽車零部件：燃料噴射系統（氣門挺桿）、柱塞、噴油針等）、動力傳動系統（齒輪、滾動軸承等）、活塞部件（活塞環、活塞銷等）、凸輪軸部件（銷、襯套、搖臂及部分液壓元件等）和其他部件（如門鎖、內飾等）