HVA 真空閥門應用于E-Beam 鍍膜機

某品牌sputtering + e-beam pvd鍍膜機系統采用hva真空閥門11000, hva真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統停機時不破壞系統真空,只要對泵內部進行破真空即可.
e-beam鍍膜機設備組成:系統主要由蒸發室,電子,進樣室(可選) ,旋轉基片加熱臺,工作氣路,抽氣系統,真空測量,電控系統及安裝機臺等部分組成.
基片在做實驗**般需要做鍍前預處理,鍍前預處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面,為后獲得高質量鍍層作準備,要進行脫脂,去銹蝕,去灰塵等工作,也有客戶在loadlock腔進行射頻反應清洗,通過使用上海伯東kri離子源將基片的表層打掉,得到光滑和均勻的表面.
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上海伯東:羅先生
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