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高純供氣系統生產廠家的行業須知

*氣體使用安全
首先,應對特氣的危害性進行分析,通過本質安全設計,消除安全隱患。根據行業規范,對特氣房選址、安全間距、防火分區、房間通風、電氣防爆等進行評估。管道設計應進行保壓和氦測漏,確保系統密閉性。鋼瓶和管道閥門應選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統應采用焊接系統,機械接頭均應置于抽風罩內。排放氣體應進行安全處*體輸送設備具有緊急切斷功能。操作應遵循標準操作規程。
其次,采用監測手段,*事故發生。設置氣體泄漏偵測器,監控氣體泄漏。可燃性氣體應設置高溫或火焰偵測器。危險氣體應設置過流開關。特氣系統氣柜應進行負壓監測,防止抽風系統的失效。偵測系統應與報警和緊急切斷連鎖。系統還應進行遠程監控。監控系統應設置不間斷電源。
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電子特氣管道系統氦檢漏檢測規定
1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀,高純供氣系統生產廠家,其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特氣系統,內向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦檢漏發現的泄漏點經修補后,應重新經過氣密性試驗,合格后再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。系統測試完畢,應充入高純氮氣,并進行吹掃。測試完畢后,應提交測試報告。
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試驗室供氣需求
目前大多數試驗室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質譜儀、液相色譜質譜儀、原子吸收分光光度計、原子熒光光度計、等離子發射光譜儀、電感耦合等離子質譜儀等都需要連續使用高純載氣和燃氣,因此試驗室的安全、連續、穩定運行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗室中放置的分析儀器。
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