鵬城半導體亮相*八屆***三代半導體論壇

一年一度行業(yè)盛會，*八屆***三代半導體論壇（ifws ）&*十九屆中國**半導體照明論壇（sslchina）于2023年2月7日-10日（7日報到）在蘇州金雞湖凱賓斯基大酒店召開。
在這場被視為“***三代半導體行業(yè)*”的盛會上，由2014年諾貝爾物理獎獲得者、日本工程院院士、美國工程院院士、中國工程院外籍院士、日本名古屋大學未來材料與系統(tǒng)研究所教授天野浩，美國工程院院士、美國國家發(fā)明家院士、中國工程院外籍院士、美國弗吉尼亞理工大學的大學特聘教授fred lee**200多個報告嘉賓，緊扣論壇“低碳智聯(lián)·同芯共贏”大會主題，將在開、閉幕大會、主題分會及同期共計近30余場次活動中，全面展現(xiàn)*三代半導體產業(yè)鏈*技術進展及產業(yè)發(fā)展“風向。
***三代半導體論壇（ifws）是由*三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（casa）在中國地區(qū)舉辦的、具備較強影響力的*三代半導體領域年度盛會，是*****三代半導體新興產業(yè)發(fā)展；屆時鵬城半導體技術（深圳）有限公司（簡稱：鵬城半導體）也受主辦方的邀請將攜多款真空鍍膜解決方案包括熱絲cvd金剛石設備、多功能磁控濺射儀、電子束蒸鍍設備、等離子體增強化學氣相沉積等亮相該會議。
熱絲cvd金剛石設備（熱絲法化學氣相沉積系統(tǒng)）：研發(fā)設計制造了熱絲cvd金剛石設備，分為實驗型設備和生產型設備兩類。
設備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜、硬質合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內孔鍍金剛石薄膜等。例如可以制造大尺寸金剛石多晶晶圓片，用于大功率器件、高頻器件及大功率激光器的散熱熱沉；可用于生產制造防腐耐磨硬質涂層；環(huán)保領域污水處理用的耐腐蝕金剛石導電電極等。
可用于平面工件的金剛石薄膜制備，也可用于刀具表面或其它不規(guī)則表面的金剛石硬質涂層制備。
平面工作尺寸：圓形平面工作的尺寸：較大φ650mm。
矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據(jù)鍍膜室的長度確定（如：工件長度1200mm）。
配置冷水樣品臺。
熱絲電源功率：可達300kw，1kw ～300kw可調（可根據(jù)用戶工藝需求配置功率范圍）
多功能磁控濺射儀（磁控濺射鍍膜機）是用磁控濺射的方法，制備金屬、合金、化合物、半導體、陶瓷、介質復合膜及其它化學反應膜等；適用于鍍制各種單層膜、多層膜、摻雜膜系及合金膜；可鍍制磁性材料和非磁性材料。
設備關鍵技術特點
秉承設備為工藝實現(xiàn)提供實現(xiàn)手段的理念，我們做了如下設計和工程實現(xiàn)，實際運行效果良好，為用戶的**工藝實現(xiàn)提供了精準的工藝設備方案。
靶材背面和濺射靶表面的結合處理
-靶材和靶面直接做到面接觸是很難的，如果做不到面接觸，接觸電阻將增大，導致離化電場的幅值不夠（接觸電阻增大，接觸面的電場分壓增大），導致鍍膜效果不好；電阻增大導致靶材發(fā)熱升溫，降低鍍膜質量。
-靶材和靶面接觸不良，導致水冷效果不好，降低鍍膜質量。
-增加一層特殊導電導熱的軟薄的物質，保證面接觸......
電子束蒸鍍設備（高真空電子束蒸發(fā)鍍膜機）是在高真空條件下，采用電子束轟擊材料加熱蒸發(fā)的方法，在襯底上鍍制各種金屬、氧化物、導電薄膜、光學薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、超硬膜等；可鍍制混合物單層膜、多層膜或摻雜膜；可鍍各種高熔點材料。
真空性能
極限真空：7×10^-5pa～7×10^-6pa
設備總體漏放率：關機12小時，≤10pa
恢復工作真空時間短，大氣至7×10^-4pa≤30分鐘；
小編在此就不一一介紹啦，2023年2月7日-10日在蘇州金雞湖凱賓斯基大酒店與您**技術交流與探討。蘇州不見不散！
鵬城半導體技術（深圳）有限公司專注于pvd鍍膜設備,化學氣相沉積c,金剛石涂層,分子束外延mbe等