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背壓法氦質(zhì)譜檢漏的簡單步驟
質(zhì)譜檢漏實(shí)際應(yīng)用中有很多具體的方法，其中背壓法也是其中一種，我們來了解下背壓法氦質(zhì)譜檢漏的幾個(gè)步驟。
背壓法氦質(zhì)譜檢漏檢漏過程主要包括三個(gè)步驟：
首先是充壓。將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內(nèi)存放浸泡一定時(shí)間。如果被檢件有漏孔，示漏氣體會(huì)通過漏孔進(jìn)入到被檢件內(nèi)部。隨著浸泡時(shí)間的增加和充壓壓力的提高，這個(gè)被檢件內(nèi)部的示漏氣體分壓也會(huì)逐漸升高。
然后是凈化。用干燥氮?dú)饣蚋稍锟諝庠诔鋲喝萜魍獠炕蛟谄鋬?nèi)部吹被檢件，在不具備氣源時(shí)可以靜置被檢件，這樣做的目的是去除吸附在被檢件外表面上的示漏氣體。這個(gè)過程中，會(huì)有部分示漏氣體從被檢件內(nèi)經(jīng)漏孔流失，導(dǎo)致被檢件內(nèi)部示漏氣體分壓力下降。因此凈化階段時(shí)間越長，示漏氣體的分壓將越大。
第三個(gè)步驟就是檢漏。經(jīng)過凈化的被檢件被放入真空室，真空室與檢漏儀相連，進(jìn)行檢漏。抽真空后，由于壓差作用，示漏氣體通過漏孔從被檢件內(nèi)部流出，而后經(jīng)過真空室進(jìn)入檢漏儀，根據(jù)檢漏儀的輸出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。
怎么樣影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度穩(wěn)定時(shí)間對檢測的影響
在充氣的時(shí)候，壓縮空氣會(huì)因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后，引起一系列的熱力學(xué)-動(dòng)力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會(huì)發(fā)生降低，若此時(shí)進(jìn)行測量，則這種壓力的變化會(huì)被視作一個(gè)由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時(shí)，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個(gè)問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時(shí)間來消除這種影響。
氦質(zhì)譜檢漏儀以及氦質(zhì)譜檢漏，在實(shí)際應(yīng)用中，氦質(zhì)譜檢漏顧名思義一般都會(huì)采用氦氣作為的示漏氣體，這是為什么呢？
氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點(diǎn)：
1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，鋰電池氦檢測漏機(jī)，檢漏靈敏度高。
2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。
3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時(shí)本底信號小。
以上這些因素都為提高氦質(zhì)譜檢漏儀器的靈敏度創(chuàng)造了良好條件。另外，氦氣作為一種惰性氣體，性質(zhì)不活潑，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，*，也不會(huì)污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。
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