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主動隔振系統中EPPC電子氣動控制系統的優勢

主動空簧隔振系統
eppc電子氣動控制系統
系統概述
主動隔振系統(eppc)由以下幾部分組成: 控制箱(plc), 氣路總成,數據線can-bus, 14位模擬數字控制器, 電控氣動水平控制閥和空簧(垂直和水平方向)。
為了適用于不同的情況(承載,布局要求),每套主動隔振系統可以選用不同型號的空簧和集成水平伺服閥進行組合 。每組空簧都通過一個14為模擬數字轉換器和一個集成水平伺服閥進行單獨控制。每套主動隔振系統 (eppc)由較少3組(三自由度)較多6組空簧(六自由度)組成。所有電控氣動傳感器通過線(can-bus) 與控制箱( plc)相連。
每個電控氣動水平控制閥都直接安裝在空簧上并且直接控制空簧的狀態。電控氣動水平控制閥內含有:一個14位的微處理芯片,一個位移傳感器(分辨率0.76微米),一個氣壓傳感器(分辨率0.36mbar)。
控制箱(plc)的主要功能則是管理和監控所有的電控氣動傳感器。另外,控制箱(plc)還提供對外通信的各種接口和控制模式的切換以及工作模式的切換,急停等按鍵或旋鈕并配有工作狀態指示燈。通過控制箱(plc)上的操作面板,用戶可以輕松的實現掃描模式好承載模式之間的轉換,解決了用戶在工況和上下件兩種情況下對系統截然不同的兩種剛度要求(主動隔振系統的掃描和承載模式本質上是兩種系統剛度之間的轉換:掃描模式代表著低剛度,在這種模式下整個系統變得非常“柔軟”且敏感,可以提供非常高的隔振效率,適合高精度的測量或測試設備運行時使用;承載模式代表著高剛度,這種模式下整個系統變得非常“堅硬”,可提供非常高的系統穩定性,適合精密設備在上下較重的工件或測試件時使用。
應用范圍
eppc為振動敏感設備提供較佳的隔振效果,動態控制適用于高精度和需要較短調節時間的設備,seac控制器內部的14為模擬數字轉換器產生的噪聲幾乎可以忽略。
eppc以其優異的性能可以應用在高精度設備、振動敏感機器、高動態測量、試驗和生產機器、顯微鏡和半導體工業機械設備等領域。
系統特性
1、半主動式電子氣動位置控制,控制多達六度的自由度。
2、采用plc、can總線可以對每一個自由度伺服閥和位置傳感器進行控制。
3、較優的水平精度可以達到±8μm。
4、阻尼可以調節。
5、在負載變化時,偏差較小,沉降時間短。
6、提供系統配置和診斷的智能化web瀏覽器(webvisu)。
7、**避免電磁啟動器或者電動機產生的干擾熱量,以及磁性變化或者電力消耗現象。
8、不會因為氣壓在氣管內流失而影響控制。
9、使用高分辨率信號處理和伺服閥控制噪音。
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