雙爐膛滑軌式PECVD-NBD-PECVD1200-50T2-N諾巴迪廠家直銷
設(shè)備簡介:
雙溫區(qū)的pecvd管式爐系統(tǒng),組成部分為500w的射頻發(fā)生器、可定位的獨立滑動式燒結(jié)爐、高精度質(zhì)量流量混合系統(tǒng)、穩(wěn)定防反油真空系統(tǒng)。此款pecvd可用于生長納米線或用cvd方法來制作各種薄膜。
主要特點:
1.清洗鍍膜一氣呵成,杜絕二次污染;
2.上開啟式結(jié)構(gòu),方便觀察試樣;
3.產(chǎn)品采用全自動控制方式,觸摸屏,數(shù)字化顯示;
4.可通過爐體滑動來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果;
5.穩(wěn)定的射頻電源,均勻的溫度分布,提高成膜質(zhì)量。
服務(wù)支持:一年有限保修,提供終身支持。