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氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理及主要組成部分:氦質(zhì)譜檢漏儀的性能、特性好壞取決于質(zhì)譜分析室。質(zhì)譜分析室的工作原理是對離子源氣體進行電離,電離出來的正離子經(jīng)過電場加速聚焦通過縫隙進入均勻磁場,離子束在磁場力的作用下,旋轉(zhuǎn)180o或90o按一定軌跡到達收集*,此種形式稱之為磁性偏轉(zhuǎn)分析形式。然后,經(jīng)小電流放大器、微處理器,控制器等線路處理直至液晶屏顯示出讀數(shù)的大小。很多情況下,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力作用下,流進或流出這個空間,如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,pvd,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴重,一般會造成有效物資的浪費,如*物資、腐蝕性氣體漏出,甚至會釀成事故。這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備,在投入使用前,就要*行檢漏,使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏檢查。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收*而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀為氣體工業(yè)名詞術語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,鋰電氦檢專機批發(fā),因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,鋰電氦檢專機哪種好,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。真空壓力法的優(yōu)點是檢測靈敏度高,能實現(xiàn)任何工作壓力的漏率檢測,反映被檢件的真實泄漏狀態(tài)。真空壓力法的缺點是檢漏系統(tǒng)復雜,需要根據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設計真空密封室。這里需要說明在檢漏過程要求確保充氣管道接口無泄漏,或者采取特殊的結(jié)構(gòu)設計將所有充氣管道連接接口放置在真空密封室外部。氦質(zhì)譜檢漏儀優(yōu)點:1.采用便攜式設計。2.設備外型美觀小巧。3.采用液晶觸摸屏設。4.有通訊接口。5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。氦質(zhì)譜檢漏儀配置。1.檢漏儀分子泵。2.機械泵或者干泵。3.定制檢漏儀電磁閥。4.內(nèi)置標準漏口。5.放大器。6.采用質(zhì)譜模塊
為什么要檢漏?泄漏和密封相對應很多情況下,溫州鋰電氦檢專機,我們需要密封住一定的空間,防止氣體或液體在壓力的作用下,流進或流出這個空間。如真空設備(真空鍍膜機,液晶注入機,鋰電池生產(chǎn)設備多少錢一臺,pvd,半導體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時,空氣不能漏進工作腔體,否則生產(chǎn)不能進行,或者產(chǎn)生次品,浪費人力物力。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹氦氣,可以實現(xiàn)漏孔的; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣,可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場。由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收*而被檢測。噴氦法、吸氦法是在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
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