2升腔體等離子清洗機

2l腔體等離子清洗機，石英腔體潔凈度高，前面留有直徑50mm觀察窗，觸摸屏控制人機界面。
等離子體清洗的機理，主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機氣體被激發為等離子態;氣相物質被吸附在固體表面;被吸附基團與固體表面分子反應生成產物分子;產物分子解析形成氣相;反應殘余物脫離表面。
1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任何傷害。
3、其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。
2l腔體等離子清洗機kt-s2dqx
供電電源
ac220v（ac110v可選)
工作電流
整機工作電流不大于3.5a(不含真空泵)
射頻電源功率
150w
射頻頻率
13.56mhz
頻率偏移量
＜0.2mhz
特性阻抗
50歐姆，手動匹配
耦合方式
電容耦合
真空度
≤100pa
腔體材質
高純石英
腔體容積
2l(內徑110mmx深度220mm)
觀察窗內徑
φ65
氣體流量
10—100ml/min（其他量程可選）
過程控制
過程手動控制
清洗時間
手動開關
開蓋方式
鉸鏈側開式法蘭
外形尺寸
400x380x360mm
重量
23kg
真空室溫度
小于65°c
冷卻方式
強制風冷
標配
kf16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本。