CSNS順利推出自主研制的碳化硼薄膜,從而實現國產化

據悉，日前中國散裂中子源(csns)探測器團隊利用自主研制的磁控濺射大面積鍍硼**裝置，成功研發出滿足中子探測器需求的高性能大面積碳化硼薄膜樣品lopgubqhs。
根據相關資料顯示，相關薄膜單片面積達到 1500mm×500mm，薄膜厚度 1微米，全尺寸范圍內厚度均勻性** ±1.32%，號稱是“目前**上用于中子探測的較大面積的碳化硼薄膜”。
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據介紹，研究團隊歷經多年較終克服濺射靶材制作、過渡層選擇、基材表面處理等對鍍膜質量影響大的關鍵技術，從而順利研發出*的磁控濺射大面積鍍硼**裝置。
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