NE-Q05納恩科技5L真空不銹等離子清洗機

ne-q05是一款石英真空等離子處理系統，廣泛應用于科研院校，企業研發單位和小批量生產打樣。小型石英等離子清洗機結構主要包括控制單元、石英真空腔體、真空泵三部分。等離子清洗機的工作流程為：腔體抽真空—充入工藝氣體—電離工藝氣體并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔體內單種或者多種清洗所需氣體，一般為ar、o2、n2等，外加射頻功率在平行電極之間形成交變電場，電子通過電場加速對工藝氣體進行沖擊使氣體發生電離形成離子，作用在被清洗表面，電離產生的粒子與電子數量達到一定規模，便形成了等離子體。等離子體高速撞擊材料表面，與被清洗表面污染物發生理化反應，實現材料的清洗，并利用氣流將污染物排出腔體。通過等離子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面狀態、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸潤性能。
ne-q05 系統功能特點：
•真空腔體材質采用石英玻璃，不易與材料表面發生反應，污染清洗樣品
•等離子發生器采用13.56mhz射頻發生器，自動阻抗匹配調諧
•觸摸屏用戶界面+plc控制，可儲存多條工藝程序，全自動運行
•配備兩路氣路通道，氣體流量可調，無需再搭配氣體混合儀
•整體外觀處理工藝、機架門板烤漆、耐用、防刮
•鋁合金自動門：氧化處理、噴砂、光潔高檔
•電路設計電流過載保護，模塊式電路、維修方便快捷
•手動、自動、真空保壓均可操作，不倒翁橡膠腳杯，自動平衡機器、減震
序號
項目
型號規格
參數
1
等離子體發生器
功率
0-200w可調
頻率
13.56 mhz 固態射頻電源
2
真空反應腔室
腔體材質
石英耐熱玻璃
腔體容積
5l
載物托盤
玻璃托盤，平行放置
腔體直徑（圓形）
φ150×270（d）mm
3
氣路控制
氣體流量控制器
浮子針閥流量控制器，0-500ml
氣路數量
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳等
4
真空測量
真空計
smc 真空計
5
抽氣系統
真空泵
飛越 8m³/h
極限真空度
0.1pa
6
控制系統
觸摸屏
4.3寸
plc
松下plc模塊
軟件程序
自主專利設計等離子控制系統
7
場務條件
電源供應
220v
氣管接口
直徑8mm
氣體純度
99.99%
氣體壓力
0.3-0.6mpa
排氣口
kf25
8
整機參數
整機功率
1000w
外形尺寸
500mm(l)×480mm(w) ×560 mm(h)
重量
40kg