超凈工作臺(tái)使用過(guò)程中的注意事項(xiàng)
注意事項(xiàng)
( 1)測(cè)量時(shí)要避免外界風(fēng)速、電磁場(chǎng)、振動(dòng)等影響。
( 2)工作臺(tái)的工作區(qū)不要放置與檢測(cè)無(wú)關(guān)的物品,保 持工作區(qū)干凈。
( 3)在測(cè)量過(guò)程中,發(fā)現(xiàn)有 5μ m 的塵埃粒子時(shí),應(yīng)進(jìn) 行多次測(cè)量,多次出現(xiàn) 5μ m 的粒子,這時(shí)認(rèn)為測(cè)量數(shù)據(jù) 有效。
( 4)用塵埃粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量潔凈度時(shí),塵埃粒子計(jì)數(shù) 器要經(jīng)自?xún)?測(cè)量還有一個(gè)平衡過(guò)程,次或二次測(cè) 量的數(shù)據(jù)不要作為測(cè)量結(jié)果。
( 5)潔凈工作臺(tái)使用一年后,應(yīng)進(jìn)行校準(zhǔn),保性能 的可靠。
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