特氣五項(xiàng)檢測(cè)的流程及意義

l壓力測(cè)試
目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備連接在設(shè)定測(cè)試壓力的條件下保持沒(méi)有泄露點(diǎn)。
壓力測(cè)試包括壓強(qiáng)測(cè)試和氣密性測(cè)試：
1)壓強(qiáng)測(cè)試，沒(méi)有壓降@規(guī)定壓力*30分鐘，測(cè)試壓力為使用壓力的1.2倍；
2)氣密性測(cè)試<=±1%壓降 @規(guī)定壓力*24小時(shí)，測(cè)試壓力為使用壓力的1.1倍；
測(cè)試的工具可以由以下方式進(jìn)行：
1)壓力表讀數(shù)；
2)圓盤(pán)壓力儀；
壓力測(cè)試結(jié)果會(huì)受溫度的影響，在測(cè)試過(guò)程中要注意溫度的變化及對(duì)溫度的紀(jì)錄，如溫度偏差較大，則需要進(jìn)行必要的補(bǔ)償修正計(jì)算。
l氦檢漏測(cè)試
目的在于保證管道系統(tǒng)焊道或設(shè)備連接在負(fù)壓作用下合乎漏率的要求。
氦檢漏測(cè)試目前有3種方式，針對(duì)我們特氣的系統(tǒng)，通常采用真空噴氦的方式。
測(cè)試儀器：氦檢儀
真空度漏率：cc.atm/sec或mbar.l/s
漏率的意義：
1.0*10-5cc.atm/sec1 cc/day
1.0*10-7cc.atm/sec3 cc/year
1.0*10-9cc.atm/sec3 cc/100year
通常特殊氣體的漏率我們要求在1.0*10-9cc.atm/sec以上；
氦檢測(cè)試完成后，對(duì)工藝管道進(jìn)行充壓，以避免系統(tǒng)負(fù)壓吸入大量不純物；充壓氣體為高純氣體，回充后壓力宜為10~15psi，這時(shí)才可以斷開(kāi)被測(cè)管道。
l顆粒測(cè)試
目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備的內(nèi)壁或者死角無(wú)影響制程的顆粒雜質(zhì)。
顆粒測(cè)試的原理：被測(cè)氣體通過(guò)測(cè)試儀器時(shí)，如果氣流中有顆粒(該顆粒在測(cè)試儀器可以監(jiān)控的范圍內(nèi))，測(cè)試儀器會(huì)通過(guò)內(nèi)部的產(chǎn)生的激光照射該取樣氣體，再通過(guò)內(nèi)部的計(jì)數(shù)裝置進(jìn)行分類計(jì)數(shù)，從而得出該取樣氣體的顆粒測(cè)試值。
測(cè)試儀器顯示的測(cè)試規(guī)格值有8個(gè)(um)：0.1，0.2，0.3，0.5，1.0，2.0，3.0，5.0；
測(cè)試取樣：0.1scfm;(10分鐘/次)
測(cè)試值單位：？pcs/scf >？μm
顆粒測(cè)試值取增量，所以對(duì)吹掃氣源有一定的要求。
l水分氧分測(cè)試
目的在于保證管道系統(tǒng)或設(shè)備的內(nèi)壁或者死角無(wú)影響制程的水分和氧分。
高純系統(tǒng)的水分和氧分測(cè)試的單位：ppb(10-9),即每立方米被測(cè)試氣體中只有十億分之一立方米被測(cè)不純物；
不純物測(cè)試過(guò)程中，當(dāng)測(cè)試顯示值合乎測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)并保持20分鐘不變或者持續(xù)穩(wěn)定下降，則可以認(rèn)定合格。如果測(cè)試顯示值仍然在上升，即使顯示值規(guī)定值也不能認(rèn)定合格。
水分和氧分測(cè)試值取增量，所以對(duì)吹掃氣源有一定的要求。
水分測(cè)試取樣氣體的流量為200sccm，測(cè)試儀器開(kāi)機(jī)后需要升溫到60℃采能正常工作(這時(shí)一個(gè)波動(dòng)的過(guò)程)；
氧含量測(cè)試取樣氣體的流量為1slpm。
上海昉科儀器設(shè)備有限公司專注于特氣五項(xiàng)檢測(cè),化學(xué)品管道檢測(cè),閥門零部件銷售等