賽儀歐電子S540全自動晶圓級參數測試系統

s540全自動晶圓級參數測試系統，也稱功率半導體參數系統。 s540是一個全自動化的 48 引腳參數測試系統，適用于高達 3kv 的功率半導體器件和結構的晶片級測試。完全集成式 s540 已針對包括碳化硅 (sic) 和氮化鎵 (gan) 在內的新復合功率半導體材料進行優化，可以在單次測試觸摸中執行所有高電壓、低電壓和電容測試。
s540 功能
在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執行所有晶片級參數測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施 在高達 3kv 的條件下執行晶體管電容測量，如 ciss、coss 和 crss，而無需手動配置測試引腳 在高速、多引腳、全自動測試環境中實現低電平測量性能 基于 linux 的 keithley 測試環境 (kte) 系統軟件支持輕松進行測試開發和快速執行 非常適合于過程集成、過程控制監控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用 通過大程度減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現實驗室級測量性能